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無塵室（潔凈室）測試驗收
日期：2025-06-13 12:09
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摘要：
無塵室（潔凈室）測試驗收，先要確認無塵室各項工程已完成并運轉至少24小時以上，方能進行如下各項測試。各測試項目，其也有一定的先后順序。先要測定HEPA/ULPA風速，HEPA/ULPA的風速是測定其泄漏的前提，濾網沒有風速或者風速很小都能直接影響hepa掃漏的準確性，同時也影響環境內粒子的過濾效果。從事潔凈室工程設計施工多年經驗的工程師應該都知道，竣工驗收時，一般新裝HEPA風速要達到0.40-0.45m/s以上，同時回風風速一般要在2.0m/s左右，無塵室內的過濾效果才明顯，如此風速，一些1.0以上大顆粒會被氣流通過回風帶走。風速小于0.35的會造成大顆粒在室內一直循環而不被回風帶走，這樣的話做環境粒子測試將無法通過，待室內運行一段時間后，無塵室正常生產運轉的時候將風速范圍將調至在0.25-0.45之間亦可保證室內的潔凈度。
HEPA/ULPA的掃漏，一般包括倆個部分，一是中的HEPA/ULPA的表面掃漏，另外就是其安裝的周邊密封性掃漏，HEPA/ULPA的表面在廠家出廠前也進行過測試，但是不能確定工人在安裝過程中會造成損壞，所以表面掃漏也是必須的，周邊密封性的掃漏是檢驗安裝是否到位，氣密是否嚴實，在一般的掃漏過程中，周邊密封性掃漏是必要的工作，也是掃漏的重點。HEPA/ULPA風速測試中，為避免邊緣受到渦流的影響，一般可以采取四周PVC圍護的方式，以利測量結果的準確性。
